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배병성 κ΅μˆ˜λŠ” "이 μ—°κ΅¬λŠ” νŠΈλžœμ§€μŠ€ν„°μ˜ 게이트 μ ˆμ—°λ§‰μ„ ν˜•μ„±ν•˜λŠ” λ°©λ²•μœΌλ‘œ κΈ°μ‘΄ 화학기상증착기 CVD λ₯Ό μ‚¬μš©ν•˜μ§€ μ•Šκ³  λ°˜λ„μ²΄ μž¬λ£Œμ™€ κΈˆμ†κ³Όμ˜ κ²½κ³„λ©΄μ—μ„œμ˜ λ°˜μ‘μ„ μ΄μš©ν•΄ μ‚°μ†Œ λΆ„μœ„κΈ°μ—μ„œμ˜ μ—΄μ²˜λ¦¬λ‘œ 얇은 산화막을 ν˜•μ„±ν•œ 것"이라고 λ°ν˜”λ‹€.

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